MEMS 加速度计

MEMS 传感器特别适合从消费品到航空的广泛应用领域。该技术的内在价值已广为人知:体积小,易于集成到电路板上,耗电量低,随着时间推移和温度变化能够保持稳定,而且购买成本低。主要厂商重点关注的是消费领域,很少有公司不断追求极致性能,以便消除对更大、更昂贵替代品的需要。

 

MEMS 传感器

会不会有一天,即使在最严苛的应用领域,体型小巧的元器件也会取代所有的传统技术?
Colibrys 给出了答案:会的!

Colibrys 专注于高性能 MEMS 传感器,它们主要依赖于三个关键因素︰

  • MEMS 设计充分利用硅的内在高稳定性,与传感器电子元件的机会和限制相结合;以及采用包括精密蚀刻和多晶圆键合等先进 MEMS 工艺的 MEMS 技术。
  • MEMS 组装和封装技术可以保持 MEMS 模具内在的卓越性能并在恶劣环境下确保高可靠性。
  • 与 MEMS 芯片协同设计的传感器电子元件,帮助优化系统设计,以便在保持低复杂性的同时达到最佳性能。

Colibrys 利用高水平跨学科工程团队协同设计 MEMS 芯片、封装和相关电子元件,这是成功研制用于航空导航、工业振动测量和地震监测等苛刻应用领域的高性能 MEMS 传感器的关键。

先进的制造工艺

在晶圆厂,结合使用标准的微电子工艺与晶圆蚀刻、晶圆键合等 MEMS 专用工艺,制造 MEMS 元器件。对于传感器封装,Colibrys 主要采用全密封陶瓷封装,确保在恶劣环境下的坚固性,以及长期的稳定性和可靠性。对于电子元件,Colibrys 采用自己的 ASIC 和标准元器件。

Colibrys 旨在打造高性能传感器,其性能等级目前为止只能通过机电技术达到,但在坚固性、尺寸和成本方面超越了这些技术。